对于多光束激光整形系统，你了解多少？
更新时间：2021-09-14 点击次数：672次
多光束激光整形系统是一种将单光束转化为动态可编辑多光束的高速激光整形系统，为了zui大化该加工的有效性、质量、分辨率和效率，有必要应用适合于给定应用的技术。激光光束自然具有不均匀的横向能量分布，这可能导致不必要的能量损失、不准确性和钻孔不规则性。材料的类型、孔的参数、钻孔的质量和生产率都是需要考虑的因素，并且需要优化激光脉冲的强度在加工材料中的分布方式。
优势：
1、高速阈值满足要求的前提下，模块直接将入射单束光转化为可动态编辑的多光束图形图案，大大的提高了加工效率；
2、阈值满足要求的前提下，可以实现单光束直接转化成100x100量级的的动态可编辑矩阵分光束阵列；
3、转换的分光束阵列图案，可动态编辑；
4、多元化形状加工
5、兼容振镜-ftheta及视觉系统等多种模式
多光束激光整形系统根据具体应用的需要，可能需要均匀地集中激光能量，将光束整形成一定的轮廓，或甚至生成若干光束以同时处理多个区域4,5并增加工艺的生产率。例如，一种常用的光束形状是平顶轮廓（见图3a），这使得可以获得均匀强度的激光光斑，从而以更好的分辨率和规则的深度穿透。
另一种常用的形状是贝塞尔光束，它使传播的能量在长距离上强烈聚集在小而细长的区域中。因此，对于具有高纵横比（深度与直径比远大于10:1的孔）的小直径孔（有时直径小于微米）的钻孔特别有用。该形状特别用于加工透明材料，8例如玻璃或蓝宝石。对于更具体的应用，可能需要产生更特定几何形状的光束，例如使用无掩模光刻来加工光子晶体或电子微元件。
因此，需要优化该工艺以将激光光束整形单元集成到激光微钻孔系统中。存在几种类型的光束整形技术，例如折射光学元件（ROE）、衍射光学元件（DOE）和空间光调制器（SLM）。这些技术通常以规模化生产使用，但取决于应用，它们往往在可获得的形状类型方面受到限制，受到浅景深（钻孔的有用深度）的影响，并且可能具有降低的效率和高价格。
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